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BUSINESS

유틸리티 설비공사 (Utility Facility Construction)

첨단 산업공정에 필요한 유틸리티 토탈 솔루션 초정밀 공정을 위한 DI·CDA·PCW·가스·배기·모니터링 시스템 전문 시공 및
서비스 제공
유틸리티 설비공사는 반도체·전자·바이오 등 첨단 산업 분야의 생산 공정에 필수적인 각종 설비를 제공합니다.
대표적인 시스템은 다음과 같습니다.

DI 시스템 (Deionized Water) : 초순수를 대량 공급하는 시스템

  • ·RO 역삼투압 정제, 마이크로필터, 활성탄 필터, UV 살균, MBD·MBP로 구성
  • ·반도체 등 초정밀 산업에서 극도로 정제된 순수 공급

CDA 시스템 (Compressed Dry Air) : 먼지·유분·수분 등 오염물질을 제거한 청정 압축공기 공급
PCW 시스템 (Process Cooling Water) : 장비 부품 냉각 및 발열 방지용 냉각수 시스템
진공 시스템 (Process Vacuum) : 생산 공정 및 장비에 필요한 진공 공급
가스 공급 시스템 : GN₂, PN₂ 등 가스 공급 및 관리
배수·배기 시스템 : 폐수는 산 용기를 거쳐 자연 배수, 산가스는 스크러버 및 세정 후 배출, 유기성 가스·열배기는 필터 처리 후 배출
모니터링 시스템 : 가스룸 및 유틸리티 설비를 실시간 관리하여 안정성과 효율성 확보

UT 배관 (Utility Piping)

반도체 장비 가동을 위한 핵심 공급 라인 Gas, Water, Chemical, Drain, Exhaust를 안정적으로 공급하는 시스템
UT 배관은 반도체 장비 운영에 필요한 각종 Utility를 안정적으로 공급하기 위한 배관 시스템입니다.
공급 범위는 Utility 공급처 → 반도체 장비 설치 위치까지의 주관(Main Line)과 횡지관(Sub Line)을 포함합니다.

주요 공급 항목은 다음과 같습니다.

  • ·Gas : Process Gas, Bulk Gas, Toxic Gas 등
  • ·Water : PCW(Process Cooling Water), DIW(Deionized Water), NPW(Normal Pure Water),
    CTW(Cooling Tower Water)
  • ·Chemical : 유기·무기 화학물질 공급
  • ·Drain : 폐수, 폐액, 일반 배수 처리
  • ·Exhaust : 유기·무기·일반 배기

UT 배관은 반도체 공정의 안정성과 효율성을 보장하기 위해 고도 설계·정밀 시공·안전 관리가 필수적으로
요구됩니다.

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반도체 제조 장비
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디스플레이·전자 산업
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바이오·제약 산업
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첨단 연구 시설

HOOK-UP 배관 (Hook-Up Piping)

반도체 장비와 Utility를 연결하는 최종 배관 시스템 1차 배관에서 장비까지
Gas·Water·Chemical·Drain·Exhaust를 안정적으로 공급
HOOK-UP 배관은 반도체 공정 장비가 실제 가동될 수 있도록
1차 Utility 배관으로부터 장비까지 연결하는 최종 단계의 배관 시스템입니다.

공급 항목은 UT 배관과 동일하게 구성됩니다.

  • ·Gas : Process Gas, Bulk Gas, Toxic Gas 등
  • ·Water : PCW(Process Cooling Water), DIW(Deionized Water), NPW(Normal Pure Water),CTW(Cooling Tower Water)
  • ·Chemical : 유기·무기 화학물질 공급
  • ·Drain : 폐수, 폐액, 일반 배수 처리
  • ·Exhaust : 유기·무기·일반 배기

HOOK-UP 배관은 FAB(반도체 제조동) 구성이 완료된 후, 장비의 Turn-On 일정에 맞추어 설계·시공이
이루어지며, 정밀한 설계와 고도 시공 기술이 요구됩니다.

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반도체 FAB 장비 설치 시
필수 배관
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디스플레이 및 전자 장비 설치
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바이오·제약 생산 장비 연결
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연구소·첨단 실험 장비 Utility 연결
  • 본사

    대전 동구 산내로 513번길 24 (상소동)

  • 공장

    충남 공주시 이인면 남공주산단길 76 (만수리 592)

  • Tel

    042-638-5555

  • Fax

    042-638-2900

  • E-mail

    hanbit5555@daum.net

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